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          扫描电镜等离子清洗机

          简要描述:CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

          • 产品型号:CIF-SEM
          • 厂商性质:生产厂家
          • 更新时间:2021-11-03
          • 访  问  量:668

          详细介绍

          品牌CIF产地类别国产
          应用领域医疗卫生,环保,生物产业,地矿,能源

          CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

           

          产品特点

          双等离子清洗源

          一机多用

          高效低损伤

           

          技术参数

          产品型号

          CIF-SEM

          法兰接口

          KF40

          工作气压

          0.3-3Pa

          等离子电源

          13.56MHz射频电源,射频功率5-100W可调,自动匹配器

          气体控制

          标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

          气源选择

          根据需求可选择氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源

          真空控制

          美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr

          真空保证

          真空计和电磁阀安全互锁

          操控方式

          7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

          电源/功率

          220V,50/60Hz,300W

          可选配件

          可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min 

          质量保证

          二年质保,终身维护

           

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